در یک سرویس یک مرحله ای
Newtek Gas یک سیستم تولید اکسیژن PSA (فشار نوسان فشار) را به طور خاص برای محیط های تولید نیمه هادی مهندسی می کند. این راه حل مدولار اکسیژن خلوص فوق العاده بالا 99.5 ٪ با نرخ جریان از {4}} nm³/h را ارائه می دهد ، که شامل قابلیت های ادغام هوشمند برای عملیات تمیز است.
مزایای فنی اصلی
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99.999 ٪ خلوص
± 0. 5 ٪ ثبات غلظت از طریق تجزیه و تحلیل گاز لیزر در زمان واقعی
0. 1μm فیلتراسیون چند مرحله ای (HEPA+ULPA) انطباق ISO کلاس 3 را تضمین می کند
- 30 ٪ مصرف انرژی پایین تر از سیستم های معمولی
- سیستم بازیابی گرما بار حرارتی را در محیط های FAB کاهش می دهد
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
طراحی مقیاس پذیر مقیاس پذیر از 20 ٪ {2}}} افزایش ظرفیت پشتیبانی می کند
واحد فشرده سازی هوا (فناوری پیمایش بدون روغن)
برج تصفیه (حذف خودکار رطوبت TSA)
کابینت کنترل هوشمند (PLC+HMI با پروتکل Secs/GEM)
برنامه های فرآیند نیمه هادی
acidation اکسیداسیون حرارتی
تأمین دقیق O₂ برای رشد اکسید دروازه (کنترل ضخامت {0}}})
ath اچینگ خشک
تأمین گاز با ثبات پلاسما برای الگوی نانو
purge پاکسازی اتاق CVD
اکسیژن فوق العاده خشک برای پیشگیری از آلودگی ذرات
an پخت ویفر
کنترل جو با خلوص بالا برای فعال سازی دوپانت
سیستم نظارت هوشمند
نظارت ناخالصی در زمان واقعی (تشخیص سطح PPB)
نگهداری پیش بینی با الگوریتم AI (دقت 98 ٪)
تشخیص از راه دور از طریق پلت فرم IIOT (OPC UA/MTConnect)
SEMI F 5-0202 استانداردهای گاز تمیز
گواهینامه ایمنی الکتریکی CE/UL/ETL
ISO {0}}} کلاس 3 سازگاری اتاق تمیز
ما ارائه می دهیم
▲ شبکه فنی جهانی:پشتیبانی چند زبانه 24/7 با<4hr response time
▲ برنامه بهینه سازی طول عمر:حسابرسی سالانه حسابرسی و سرویس جایگزینی غربال مولکولی (ضمانت {0}}} سال)
▲راه حل های سفارشی:ادغام متناسب با سیستم های AMHS/MMC
و طراحی سیستم بازیابی گاز
با متخصصان گاز نیمه هادی ما تماس بگیرید
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
تگ های محبوب: ژنراتور اکسیژن برای نیمه هادی ، ژنراتور اکسیژن چین برای تولید کنندگان نیمه هادی ، تأمین کنندگان
